高精密勻膠機(jī)型號(hào)：SC200-SE

主要性能指標(biāo)： 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可到0.1秒  
轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm  
工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）  
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量） 


產(chǎn)品特性?xún)?yōu)點(diǎn)： 
新的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。  
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。  
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。  
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。 
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。  
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。  
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。  
透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。 


產(chǎn)品外型尺寸： 
　　　　　613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)